與DeviceNet通信兼容的質(zhì)量流量控制器。

安裝在最新半導(dǎo)體制造設(shè)備中的控制設(shè)備越來越多地使用開放現(xiàn)場工作通信來實現(xiàn)高速控制和簡化布線，而不是模擬控制。

琳得科在業(yè)內(nèi)
開發(fā)了 MC-5000L，這是一款符合 SEMI 標準的 DeviceNet™ 通信質(zhì)量流量控制器。配備半導(dǎo)體制造所需的金屬密封件和環(huán)境溫度補償流量傳感器。還提供各種選項，例如兼容液化氣體。