低壓差質(zhì)量流量控制器，最小工作壓差為800Pa。

通過開發(fā)的環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器降低壓力損失，該傳感器具有低壓力損失規(guī)格和±1%FS的精度。

專有的壓電執(zhí)行器閥可提供精確的流量控制和低壓差穩(wěn)定性。


特征

  • 低壓差（800Pa）

  • 工作溫度5-50℃

  • 金屬密封

  • 清潔（保證顆粒）

  • 環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器

  • RS-485通訊

選項

  • 微流FS

低溫低蒸氣壓氣體流量控制

MC-3000S是一款低差壓質(zhì)量流量控制器，采用開發(fā)的低壓降結(jié)構(gòu)，即使在室溫下，只要二次側(cè)處于真空狀態(tài)，也可以控制H2O等液體原料的流量。推薦用于向真空室發(fā)送少量水蒸氣的 ITO 濺射方法。此外，還可以在室溫下控制XeF2等低蒸氣壓固體材料的流量。

真空罐式集裝箱（SDS集裝箱）流量控制

離子注入機(jī)使用AsH3、PH3等特殊材料氣體，為了安全穩(wěn)定地供應(yīng)，通常采用安全傳輸源（SDS）容器來供應(yīng)。SDS填充的罐壓低于大氣壓，需要MFC能夠以低壓差控制流量。MC-3000S的低壓降結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)最小壓差800Pa（6Torr）的流量控制。

規(guī)格表


溫度最小壓差最大壓差準(zhǔn)確性控制范圍最小滿量程最大滿量程貼紙
5~50℃800帕133kPa±1%滿量程
2~100%滿量程
2SCCM30SCCM金