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產(chǎn)品分類日本vista智能真空計SC-10的產(chǎn)品介紹
可測量殘留氣體成分的真空計,
用于真空設(shè)備的健康檢查!
?通過監(jiān)測殘留氣體成分,可以監(jiān)控真空設(shè)備的健康狀況并立即發(fā)現(xiàn)異常情況。
?用一臺裝置即可測量真空度(總壓)和氣體成分(分壓)。
SC-10智能真空計是我公司研發(fā)的一款全新的自動真空計,既可以測量殘余氣體成分,也可以測量全壓真空。總壓真空范圍從大氣壓到10-7Pa的超高真空,當總壓達到約50Pa時,氣體成分的分壓自動開始,從而可以測量約10-5Pa到10-6Pa。 可以在粗略壓力范圍內(nèi)測量氣體成分并檢查是否有泄漏,而這對于傳統(tǒng)氣體分析儀來說是不可能的。
智能真空計可以測量殘留氣體的成分,因此即使在抽氣過程中,您也可以快速檢查真空設(shè)備的健康狀況,例如泄漏和水蒸氣脫氣。下面兩圖顯示了同一裝置的不同排氣數(shù)據(jù),在圖1中,顯示了正常排氣,水蒸氣是主要成分,決定了總壓力真空,而在圖2中,氮氣由于泄漏而停止。向下抽真空開始后約5分鐘,如果繼續(xù)抽真空約10分鐘,氮氣量超過水蒸氣量,總壓和真空度也停止下降。通過使用智能真空計,您可以快速發(fā)現(xiàn)僅通過監(jiān)測總壓力和真空度無法檢測到的排氣異常及其原因。
智能真空計不僅可以讓您知道是否存在泄漏,還可以噴射氦氣或氬氣來定位泄漏位置。圖3顯示了在泄漏位置噴射氬氣時智能真空計的數(shù)據(jù),氬氣增加而氮氣減少表明存在泄漏。泄漏停止后,如圖4所示,氮氣和氧氣減少,水蒸氣成為主要成分,成為典型真空裝置的殘余氣體成分。
無需其他操作,只需將其打開并連接到您的電腦即可。 SC-10內(nèi)置的全量程真空計可測量從大氣壓到超高真空的總壓力,當總壓力達到約50Pa時,自動開始殘余氣體成分的測量(分壓測量)。無需擔心,當恢復(fù)到大氣壓時,氣體成分測量將自動關(guān)閉。
殘余氣體測量在約 50Pa 的低真空下進行,因此可以在傳統(tǒng)氣體分析儀 (RGA) 無法操作的粗略壓力下檢測異常和泄漏檢查。
由于沒有燈絲,因此耐臟,無需擔心斷線。即使傳感器臟了,您也可以輕松地自行清潔。
安裝很容易。只需將傳感器連接到真空設(shè)備,使用 USB 電纜將其連接到 PC,然后連接交流適配器即可。該傳感器體積小、重量輕,甚至可以在 Windows 平板電腦上運行,因此您可以隨身攜帶它,輕松測量壓力、殘余氣體并檢查是否泄漏。