Sanko-Denshi(三光電機)是一家知的名的日本公司,專注于生產(chǎn)各種精密測量儀器,其中包括膜厚計。Sanko-Denshi的膜厚計SWT-NEO是一款用于測量薄膜厚度的高精度儀器,廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域。以下是關(guān)于Sanko-Denshi膜厚計SWT-NEO的詳細介紹:
一、產(chǎn)品概述
二、工作原理
三、功能特點
高精度測量:能夠測量納米級厚度的薄膜,測量精度可達亞納米級別。
非接觸式測量:采用光學(xué)測量方法,無需接觸樣品,避免對樣品造成損傷。
多種測量模式:支持多種測量模式,包括單點測量、多點測量和掃描測量。
實時數(shù)據(jù)分析:儀器內(nèi)置數(shù)據(jù)分析軟件,能夠?qū)崟r顯示測量結(jié)果,并提供多種數(shù)據(jù)處理功能。
多種測量范圍:適用于不同厚度范圍的薄膜測量,從納米級到微米級。
用戶友好界面:配備大屏幕液晶顯示屏,操作界面直觀易用。
數(shù)據(jù)存儲與輸出:可以存儲大量測量數(shù)據(jù),并通過USB接口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎銠C進行進一步分析。
多種語言支持:支持多種語言顯示,包括英語、日語、中文等。
四、技術(shù)規(guī)格
測量范圍:納米級至微米級(具體范圍取決于薄膜材料和測量條件)。
測量精度:亞納米級別。
測量速度:快速測量,適合高通量檢測。
光源:激光光源,波長可根據(jù)測量需求選擇。
測量模式:單點測量、多點測量、掃描測量。
數(shù)據(jù)存儲:可存儲大量測量數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)輸出:USB接口,支持?jǐn)?shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎銠C。
電源:交流電源適配器。
尺寸:緊湊型設(shè)計,便于實驗室和現(xiàn)場使用。
重量:輕便,便于攜帶。
五、應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè):用于測量半導(dǎo)體薄膜的厚度,如硅片上的氧化層、金屬層等。
電子行業(yè):用于測量電子元件上的薄膜厚度,如電容、電阻等。
光學(xué)行業(yè):用于測量光學(xué)薄膜的厚度,如反射膜、增透膜等。
材料科學(xué):用于研究新型薄膜材料的厚度和性能。
科研領(lǐng)域:用于實驗室研究和開發(fā)中的薄膜厚度測量。
六、操作步驟
準(zhǔn)備樣品:將待測樣品放置在測量平臺上,確保樣品表面平整。
開機:連接電源并打開儀器,進行自檢和初始化。
設(shè)置參數(shù):根據(jù)樣品的性質(zhì)和測量需求,設(shè)置測量模式、光源波長等參數(shù)。
開始測量:將激光對準(zhǔn)樣品表面,按下測量鍵,儀器自動進行測量。
讀取結(jié)果:測量完成后,儀器會顯示薄膜的厚度和相關(guān)數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)存儲與輸出:將測量結(jié)果存儲到儀器中,或通過USB接口傳輸?shù)接嬎銠C進行進一步分析。
七、優(yōu)勢
高精度:采用光學(xué)干涉法,測量精度高,重復(fù)性好。
非接觸式測量:無需接觸樣品,避免對樣品造成損傷。
多功能:支持多種測量模式和數(shù)據(jù)處理功能,滿足不同用戶的需求。
便攜性:體積小、重量輕,便于攜帶和現(xiàn)場使用。
操作簡便:界面友好,操作簡單,易于上手。
實時數(shù)據(jù)分析:內(nèi)置數(shù)據(jù)分析軟件,能夠?qū)崟r顯示測量結(jié)果并提供多種數(shù)據(jù)處理功能。
八、附件
九、維護與保養(yǎng)
清潔:定期清潔光學(xué)鏡頭和測量平臺,避免灰塵和污漬影響測量結(jié)果。
校準(zhǔn):定期使用標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)片進行校準(zhǔn),確保儀器測量準(zhǔn)確。
存儲:存放于干燥、清潔的環(huán)境中,避免高溫、潮濕和強磁場。
Sanko-Denshi膜厚計SWT-NEO以其高精度、非接觸式測量和多功能性,成為薄膜厚度測量的理想工具,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、光學(xué)和材料科學(xué)等領(lǐng)域。