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簡要描述:megatorr焊接金屬波紋管112概要溶接ベローズは、一般真空機(jī)器、半導(dǎo)體製造裝置における可動(dòng)部分の真空保持や裝置からの排気配管用として數(shù)多く使用されております。特に、裝置の可動(dòng)部の真空を保持する為に、安全性/機(jī)密性や耐久性を考慮にいれ高品質(zhì)の金屬を使用した溶接メタルベローズが求められています。弊社の溶接メタルベローズは、ISO9001 認(rèn)定工場で管理、製造、検査されており、ご
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子,綜合 |
megatorr焊接金屬波紋管112
megatorr焊接金屬波紋管112
在中概要溶接ベローズは、一般真空機(jī)器、半導(dǎo)體製造裝置における可動(dòng)部分の真空保持や裝置からの排気配管用として數(shù)多く使用されております。特に、裝置の可動(dòng)部の真空を保持する為に、安全性/機(jī)密性や耐久性を考慮にいれ高品質(zhì)の金屬を使用した溶接メタルベローズが求められています。弊社の溶接メタルベローズは、ISO9001 認(rèn)定工場で管理、製造、検査されており、ご安心できる高品質(zhì)のベローズを壓力控制范圍趨于多樣化,對(duì)低真空(高壓)下壓力控制的需求越來越大。由于工藝氣體的多樣化,閥門加熱溫度也要求更高。這種寬帶閥就是為滿足這一需求而開發(fā)的。
壓力控制范圍廣:可控從101.33kPa(大氣壓)到10Pa以 下(760Torr到70mTorr以下),最高可加熱到200℃。概要従來の真空?qǐng)R力制御において、プロセスの多様化により、圧力制御範(fàn)囲も多様化の傾向を示してきており、特に低真空(高圧)下での圧力制御のニーズが増加してきております。バルブ加熱溫度も、同じくプロセスガスの多様化により、より溫度を求められるようになってきました。そのご要望にお答えする為に開発致しましたのがこの広帯域バルブです。特長 ?広い圧力制御範(fàn)囲:101.3kPa(大気圧) ~ 10Pa以下(760Torr~70mTorr以下) ?弁體、バルブ本體(接ガス)部を200℃まで任意に加熱可能 ?溫度不均一を発生させるベローズを使用せず獨(dú)自構(gòu)造のシャ概要このコントローラは広帯域バルブ/AW シリーズを制御する為に國內(nèi)で開発された専用のコントローラ/APシリーズです。コントローラー本體は多機(jī)能を有しており各種プロセス條件に最適化が可能です。外部制御方式はアナログ/デジタル両方を標(biāo)準(zhǔn)裝備しております。また、全面操作パネルからの設(shè)定も可能ですので操作が非常に容易です。主な機(jī)能 ?2個(gè)のキャパシタンスマノメーターを接続し獨(dú)立した圧力モニター及びコントロールが可能 ?バルブのソフトスタート(スローバキューム) ?ランプコントロール(遅延コントロール)が可能 ?レンジの異なる2個(gè)のキャパシタンスマノメーターも接続